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    “中國芯”關鍵材料國產化

    磷烷安全源(PH₃ AGS)
    • 中文名：磷烷安全源
    • 英文名：Phosphine AGS
    • CAS號：7803-51-2
    • 熔點：-133℃
    • 沸點：-87.7℃
    • 蒸氣壓：53.32kpa（-98.3℃）
    • 產品等級：5N7
    • 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    砷化氫(AsH₃)
    • 中文名：砷化氫
    • 英文名：Arsine
    • CAS號：07784-42-1
    • 熔點：-116℃
    • 沸點：-62.5℃
    • 蒸氣壓：1463kPa(20℃)
    • 產品等級：6N、6N5
    • 規格：40L
    三氟化硼安全源(BF₃ AGS)
    • 中文名：三氟化硼安全源
    • 英文名：Boron Trifluoride AGS
    • CAS號：07784-42-1
    • 熔點：-126.8℃
    • 沸點：-100℃
    • 蒸氣壓：1013.25kPa(-58℃)
    • 產品等級：3N
    • 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    磷化氫(PH₃)
    • 中文名：磷化氫
    • 英文名：Phosphine
    • CAS號：7803-51-2
    • 熔點：-133℃
    • 沸點：-87.7℃
    • 蒸氣壓：53.32kpa（-98.3℃）
    • 產品等級：6N、6N5
    • 規格：44L
    安全源砷烷(AsH₃ AGS)
    • 中文名：砷烷安全源
    • 英文名：Arsine AGS
    • CAS號：07784-42-1
    • 熔點：-116℃
    • 沸點：-62.5℃
    • 蒸氣壓：1463kPa(20℃)
    • 產品等級：5N5
    • 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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