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    “中國芯”關鍵材料國產化

    六氟化硫(SF₆)
    • 中文名：六氟化硫
    • 英文名：Sulfur hexafluoride
    • CAS號：2551-62-4
    • 熔點：-50.8℃
    • 沸點：-63.8℃
    • 蒸氣壓：21.5atm
    • 產品等級：電子級：5N 工業級：4.5N、5N
    • 電子級：47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工業級：6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
    三氟化氮(NF₃)
    • 中文名：三氟化氮
    • 英文名：Nitrogen trifluoride
    • CAS號：7783-54-2
    • 熔點：-208.5℃
    • 沸點：-129℃
    • 蒸氣壓：>1atm
    • 產品等級：4.6N
    • 規格 ：47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
      共1頁 2條
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